Реферат: Название дисциплины

Аннотация дисциплины


Название дисциплины: Физические основы микро- и наноэлектроники

Physic foundation of micro- and nanoelectronic

Семестр: 3




Общая трудоёмкость изучения дисциплины: 5 ЗЕТ, 180 часов




Предшествующие дисциплины, необходимые для изучения данной дисциплины:

Физика, Химия,



Последующие дисциплины, опирающиеся на данную дисциплину:

Физико-химические основы технологии электронных средств

Технология производства электронных средств

Результаты изучения дисциплины:


В результате изучения дисциплины студенты должны:

- знать основные положения физики твердого тела: методы создания объемных и поверхностных конфигураций и переноса изображения в субмикронной электронике; методы модификации поверхностных и объемных структур; физические основы метрологии, методов анализа и контроля параметров изделий в микро- и наноэлектронике;

- уметь выбирать соответствующие технологические процессы производства, методы измерения и контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники; разбираться в физических принципах и моделях процессов, лежащих в основе современной микро- и нанотехнологии;

- владеть навыками: анализа соответствия имеющихся технологических возможностей и технических требований, анализа полученных результатов и правильной их оценки.


Разделы и темы дисциплины:


Тема 1. Введение

Тема 2. Энергетическая характеристика структуры твердого тела

Тема 3. Физические основы получения конденсированных структур

Тема 4. Физические основы методов формирования и модификации поверхностных и объемных структур

Тема 5. Физические основы метрологии и методов контроля в микро- и наноэлектронике

Тема 6. Физические основы наноэлектроники и нанотехнологии


Виды и объёмы учебной работы:

Лекции – 36 часов, лабораторные работы – 18 часов; практические занятия – 18 часов,

Форма контроля: экзамен

Ответственный за дисциплину: проф. Марголин В.И., каф. МИТ